仕組みやメリットを比較
NAND型フラッシュメモリの「チャージトラップ」と「フローティングゲート」の違い
「チャージトラップ」方式のNAND型フラッシュメモリは、旧式の「フローティングゲート」方式と比べて何が優れているのか。現状の課題は。
NAND型フラッシュメモリは一般的に、メモリセルにある「フローティングゲート」(浮遊ゲート)という電荷保持領域を使用して、データを格納する。ベンダーの中には耐久性と拡張性を高めようと、フローティングゲートとは別の手段で電荷を保持する「チャージトラップ」(電荷捕獲)方式のNAND型フラッシュメモリに切り替える動きもある。
チャージトラップ方式のNAND型フラッシュメモリは、フローティングゲート方式と比べて、メモリセルの物理的な損傷や電子漏れの影響を受けにくい。一方でチャージトラップ方式には、特に信頼性に関する課題が指摘されている。
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多次元構造化するNAND型フラッシュメモリ
フローティングゲートのジレンマ
フローティングゲートは、NAND型フラッシュメモリの一般的な電荷保持手段として利用されてきた。フローティングゲートは、特定の方法でメモリセルに電圧が加わると電子を蓄積する。別の方法で電圧が加わると、電子を解放する。通常はメモリセル1個につき、フローティングゲート1個を含む。
1個のメモリセルで1bitを保持できるシングルレベルセル(SLC)のNAND型フラッシュメモリの場合、フローティングゲートに電子を蓄積すると、そのメモリセルのビット値を「0」だと見なす。そうでなければ「1」だと見なす。1個のメモリセルで保持できるデータが2bitのマルチレベルセル(MLC)や、3bitのトリプルレベルセル(TLC)のNAND型フラッシュメモリになると計算は複雑になるが、基本は変わらない。
メモリセルの内部では、内外に電子が出入りするシリコン基板とフローティングゲートを「トンネル酸化膜」という絶縁膜で分離している。トンネル酸化膜は極めて薄いため、電圧が加わると、電子はトンネル酸化膜を通り、フローティングゲートとシリコン基板の間を移動できる。
データの書き込み(プログラム)操作中は、電子をフローティングゲートに蓄える。消去操作中は、フローティングゲートから電子を排出する。
NAND型フラッシュメモリでは、データの書き込み/消去プロセスである「P/Eサイクル」を繰り返すたびに、トンネル酸化膜がわずかに損傷する。ある程度のP/Eサイクルを繰り返すと、トンネル酸化膜が劣化して電子を保持できなくなり、電子がフローティングゲートから漏れ出して、メモリセルは使用不能になる。
メモリセルのサイズが小さくなり、各メモリセルに詰め込むビット数が増えるにつれ、メモリセルが物理的に損傷する可能性は高くなる。一部のメモリセルに読み書きが集中しないようにする「ウェアレベリング」などのテクノロジーによって、フラッシュストレージ全体の寿命を延ばすことはできる。ただし各メモリセルは、いずれ機能しなくなる。
救いとなるチャージトラップ
フローティングゲート方式の制限事項に対処するため、Samsung Electronics、Western Digital Technologies(SanDisk)、SK Hynix、東芝メモリなどのベンダーが、チャージトラップ方式のNAND型フラッシュメモリを開発している。3次元(3D)構造のNAND型フラッシュメモリの登場を機に、ベンダーは大規模環境向けを中心に、チャージトラップ方式の採用を真剣に検討し始めた。
チャージトラップ方式がフローティングゲート方式と大きく異なるのは、電荷を蓄積する手段だ。フローティングゲート方式は一般的に、シリコン結晶の集合体である多結晶シリコンで構築したフローティングゲートに、電荷を蓄積する。一方のチャージトラップ方式は一般的に、シリコン窒化物の層(以下、チャージトラップ層)に電荷を蓄積する。
シリコン窒化物は、物理的な損傷の影響を受けにくい。そのためチャージトラップ層、ひいてはメモリセルの耐久性を高めることができる。
チャージトラップ方式のメリットは、もう一つある。
フローティングゲート方式の場合、メモリセルが小さくなるにつれて、あるフローティングゲートから別のフローティングゲートに誤って電子が流れ込む現象が発生しやすくなる。こうした現象は、不良データの発生につながりかねない。
チャージトラップ方式では、フローティングゲートよりも電子漏れが起こりにくいチャージトラップ層に電荷を保持する。そのためメモリセルを小さくすることが可能で、高密度のNAND型フラッシュメモリを生成できる。
チャージトラップの課題
有望なチャージトラップ方式だが、課題もある。リノ・ミケロニ氏によるフラッシュメモリの解説書『3D Flash Memories』の第2章「Reliability of 3D NAND Flash Memories」(3D NANDフラッシュメモリの信頼性)によると、チャージトラップ方式には信頼性の問題が幾つかある。最重要課題の一つが、データの保持だ。チャージトラップ層に電子が蓄積され、電荷の保持が始まると、特に高温によるデータ劣化が問題となるという。
ただし同書は、フローティングゲートがメモリセル内の電子と、他のメモリセル内の電子を結び付ける際に影響を受けやすいことも指摘している。チャージトラップ方式のメモリセルは、フローティングゲート方式よりも小さくできるため、高密度化を進める際にはより魅力的になる。
進化するストレージ環境
チャージトラップ方式には課題がある。それでもSSDをはじめとするフラッシュストレージの小型化に役立つ、有望なテクノロジーであることは変わらない。一方のフローティングゲート方式も、テクノロジーの進化が止まっているわけではないことに注意する必要がある。
3D構造の不揮発性メモリテクノロジー「3D XPoint」など、新しいテクノロジーが競争の状況を変え始めている。それでもチャージトラップ方式のNAND型フラッシュメモリは、しばらくの間存在し、世代が新しくなるたびに課題が改善されていくと考えられる。
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